光電技術&プロセス事業本部

オーロテックの光電事業は2008年に始まり、当時は「光電二部」の形で自動化設備部門に所属していた。2年間に渡る開発や準備の後、2010年年末、正式に「光電事業所」が設立された。多様な特許や豊富な装置資源を持ち、業界をリードするテンプレート製造技術によって、品質の良い高輝度LED用パターン化サファイア基板 (Patterned Sapphire Substrate, PSS) や関連装置を提供することで、オーロテックが光電事業に向けて発展する決意を示した。

オーロテックはマイクロ/ナノボールの独自の球体自発配列技術とナノインプリント技術を開発した。両方ともに大型マイクロ/ナノパターン化の応用を可能。

この二つ技術はdryとwetエッチングに組み合わせ、Micro Patterned Sapphire Substrate(MPSS)と Nano Patterned Sapphire Substrate (NPSS)を製作した。PSSはGaNの成長に対してLED光取り出し効率の向上や電気特性の改善に大きな効果があり、いまは世界中で青紫色LEDの原料としてその中の一つであった。

LED以外では、パターン化技術も高密度光記憶メディア、フォトニック結晶、光波エレメント、サブ波長光学エレメントなど光通信システム及びマイクロ/ナノ チャンネル、生体チップなどを応用、その他非平ら基盤にナノインプリント方法でパタンリングすることも可能。例えばモスアイレンズ、ソーラー熱発電など光学、天文光学エレメントを利用してます。

2011年自社開発した全自動PSS検査装置を発表した。高速検査能力が特長で、より正確で、より全面的で、より対費用効果の大きいPSSの品質コントロール手法を提供する。PSSという製品は、微細構造の観察がしにくい、欠陥の検出が困難、検査基準が一致してないなど品質管理上の問題があります。人工作業をAOI装置 (Automatic Optical Inspection) に変えることで、より正確に生産品質をコントロールし、プロセスによる損失を減らし、製造コストを著しく下げることができます。

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